國內(nèi)外的潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學技術(shù)的發(fā)展、工業(yè)產(chǎn)品的日新月異，特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展?，F(xiàn)代工業(yè)新產(chǎn)品和現(xiàn)代科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。微型化的產(chǎn)品如電子計算機，從當初的要在數(shù)間房間內(nèi)配置多臺設備組合發(fā)展到當今的筆記本電腦，它所用的電子元器件從電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路，僅集成電路的線寬已從幾微米發(fā)展到0.1m左右。產(chǎn)品的微型化等的生產(chǎn)，要求有一個“潔凈的生產(chǎn)環(huán)境”，潔凈技術(shù)便是按照產(chǎn)品生產(chǎn)對“潔凈生產(chǎn)環(huán)境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制設施的日益嚴格而不斷發(fā)展。潔凈生產(chǎn)環(huán)境—潔凈室（潔凈廠房）的稱謂、名稱或定義，先后使用過“無法室”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等，潔凈室因定義為將空氣中的微粒、有害氣體、微生物受控的房間，以滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要;潔凈室的建造和使用應不引入或少引入微粒等，應不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒等應不滯留微粒等;應對潔凈室內(nèi)的溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進行控制;根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求還需對潔凈室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進行控制。
根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特點，以半導體集成電路生產(chǎn)用潔凈室除應安裝產(chǎn)品生產(chǎn)用設備外，一般應具有下列功能設施：
凈化空調(diào)系統(tǒng)、凈化設備；
潔凈建筑及裝飾；
噪聲控制、防微振；
防靜電、防電磁干擾；
電氣、照明；
高純物質(zhì)—高純水、高純氣、高純化學品供應；
安全、報警系統(tǒng)；
通信設施……等等。
潔凈室設計是一門綜合技術(shù)，設計過程的關鍵專業(yè)技術(shù)是生產(chǎn)工藝技術(shù)及其工藝設計；空氣凈化專業(yè)設計;潔凈建筑設計以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(shù)，如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)—高純水、高純氣的專業(yè)技術(shù)等。這些專業(yè)技術(shù)在潔凈室設計中都是*的，它們之間必須密切配合，圍繞著滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要，相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排，在做好各相關專業(yè)設計的基礎上，處理好電源、冷源、熱源等動力供應，節(jié)約能源。設有各項安全設施—消防、防火、防爆、安全報警確保潔凈室的安全運行。安排好各類配管配線，確保各種流體介質(zhì)的輸送質(zhì)量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護。